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螺杆真空泵的分类

   螺杆真空泵可以产生的吸气和排气作用的抽气设备,它属于一个更新换代产品,为了满足不同人的需求生产厂家将其分为多种类型,下面就给的大家介绍一下它的分类:
  一、组合式螺杆真空泵:
  1、组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率,用爪来提高在较高压力下的抽气效率。
  2、基本原理和气体通路和圆裂片式设计完全相同。
  3、也有将其改为星型设计,这样可以在旋转一圈中将气体分为五份,就象三圆裂片式设计可以将其分为三份。
  4、在很多工艺中,组合式设计的每一个级别都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。
  二、双圆裂片式:
  1、双圆裂片式设计和目前是非常流行和广泛应用的。
  2、为了达到好的真空度对各级的间隙有非常严格的要求,这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。
  三、内部压缩型螺杆式螺杆真空泵:
  1、在很多工艺中,这种内部压缩同多级泵一样,极易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。
  2、基本原理非常相似,螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。
  3、这种设计由于产生内部压缩而使得其耗电量降低到同多级泵相当的水平。
  四、外部压缩型螺杆式:
  1、在外部压缩型螺杆式设计中,使用一对等距螺杆。
  2、这使得内部压缩减到很小,同时使得气体通路很短也很简单。
  3、气体在泵体内停留的时间也很短,虽然这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其耗电量相对较高,但在很多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定性。
  4、这种单级设计使得其对氮气用量的要求也非常小而且简单,这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性。
  5、在很多清洁的工艺中甚至可以不用氮气。
  五、三叶圆裂片式螺杆真空泵:
  1、三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同,它只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是象双圆裂片式设计分为两份。
  2、三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计有着相同的优点和缺点。
  3、为了进一步降低耗电量在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会导致扭矩减小重新启动的能力下降。
  4、同双圆裂片式设计一样,三叶圆裂片式设计的每一个级别都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。
  因为应用的行业、用户需求不同所以螺杆真空泵的种类也不同,大家在选择的时候要依据自己的行业和需求来选择,在选择的时候要明确自己的物理尺寸,避免买的不合适,退换很麻烦。
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